+7 (495) 646 49 88
с 9:00 до 20:00, zakaz@cykylab.ru
г.Долгопрудный, Промышленный пр-д, д.10
Двухцелевой ВЧ магнетронный распылитель (300 Вт) CY-MSP300S-2RF

Двухцелевой ВЧ магнетронный распылитель (300 Вт) CY-MSP300S-2RF

0 отзывов
0р.
Производители
Модель: CY-MSP300S-2RF
Склад Есть в наличии
Просмотров 762

Характеристики

  • Вес (кг) 300
  • Мощность 2,5кВт
  • Напряжение питания 220 В переменного тока 50 Гц
  • Размеры 600 мм × 650 мм × 1280 мм

Описание товара

Двухцелевой ВЧ магнетронный распылитель оснащен двумя ВЧ источниками питания мощностью 300 Вт. Источник питания постоянного тока может использоваться для изготовления металлической пленки, а источник питания ВЧ может использоваться для подготовки неметалла. Эти две мишени могут удовлетворить потребности в многослойных или многослойных покрытиях.
Машина для нанесения покрытий оснащена двухканальным высокоточным массовым расходомером. Если у вас есть другие требования, вы можете настроить газовый тракт до четырехканальных массовых расходомеров в соответствии со сложными требованиями конструкции газовой среды. Прибор оснащен передовыми турбомолекулярными насосными агрегатами, предельный вакуум составляет до 1.0E-5Pa, другие типы молекулярных насосов доступны для покупки. Путь газа молекулярного насоса контролируется несколькими соленоидными клапанами, вы можете открыть камеру для отбора пробы, не выключая насос, что значительно повышает эффективность вашей работы. Этот продукт может быть оснащен встроенным промышленным компьютером для управления системой. В компьютерной программе можно реализовать большинство функций, таких как управление вакуумным насосом и управление мощностью распыления, что может еще больше повысить эффективность вашего эксперимента.

Применение двухцелевого ВЧ магнетронного распылителя:

Это устройство можно использовать для изготовления однослойных или многослойных керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок из ПТФЭ и т.п. По сравнению с аналогичным оборудованием, установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления с двумя мишенями не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также является идеальным оборудованием для изготовления пленок материалов в лаборатории.

Технические параметры установки для нанесения покрытий с двухцелевым ВЧ магнетронным распылением:

Примерный этап

Размер

φ185мм

Температура нагрева

Макс 500 ℃

Точность температуры

± 1 ℃

Скорость вращения

1-20 об / мин регулируется

Головка для магнетронного распыления

Количество

2 дюйма × 2 (1 дюйм, 2 дюйма опционально)

Режим охлаждения

Водяное охлаждение

Охладитель воды

Чиллер с циркуляцией воды с расходом 10 л / мин

Вакуумная камера

Размер камеры

φ300 мм × 300 мм

Материал камеры

Нержавеющая сталь

Окно просмотра

φ100 мм

Режим открытия

Верхняя крышка открыта

 Массовый расходомер

 2 канала; диапазон измерения 100SCCM; 100SCCM (можно настроить в соответствии с потребностями клиента)

Вакуумная система

Модель

CY-GZK103-A

Молекулярный насос

CY-600

Резервный насос

Пластинчато-роторный насос

Максимальный вакуум

1.0E-5 Па

Насосный интерфейс

KF40

Выхлопной интерфейс

KF16

Измерение вакуума

Составной вакуумметр

Источник питания

AC; 220 В 50/60 Гц

Скорость откачки

Молекулярный насос: пластинчато-роторный насос 600 л / с: 1,1 л / с  

Всесторонняя перекачка газа: вакуум до 1.0E-3Pa за 20 минут

Конфигурация мощности

Количество

Источник питания RF × 2

Максимальная выходная мощность

RF 300 Вт

Прочие параметры

Напряжение питания

220 В переменного тока, 50 Гц

Суммарная мощность

2,5 кВт

Общий размер

600 мм × 650 мм × 1280 мм

Общий вес

Около 300 кг

Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо
Защита от роботов


Наверх
Яндекс.Метрика